바로가기 메뉴
본문 바로가기
푸터 바로가기
TOP

RF ion source with dynamic volume control

저자

Bon-Woong Koo, Yong-Seok Hwang, Kyong-Jae Chung

저널 정보

등록번호 / US 10,134,568 B2

출간연도

2018