Kinetics of electrons and neutral particles in radio-frequency transformer coupled plasma H− ion source at Seoul National University - 서울대학교 플라즈마, 방사선 및 이온원 연구실

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Kinetics of electrons and neutral particles in radio-frequency transformer coupled plasma H− ion source at Seoul National University

저자

K J Chung, J J Dang, J Y Kim, W H Cho and Y S Hwang

저널 정보

New J. Phys. 18, 105006

출간연도

2016

링크

https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1367-2630/18/10/105006