Feasibility study on high current ion beam extraction from anode spot plasma for large area ion implantation - 서울대학교 플라즈마, 방사선 및 이온원 연구실

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Feasibility study on high current ion beam extraction from anode spot plasma for large area ion implantation

저자

Yuna Lee, Kyoung-Jae Chung, Y.S. Hwang

저널 정보

Current Applied Physics 15, 1599

출간연도

2015

링크

https://doi.org/10.1016/j.cap.2015.09.020