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플라즈마 삽입전극의 전류에 미치는 밀도 구배의 영향

저자

황휘동, 구치욱, 정경재, 최재명, 김곤호, 고광철

저널 정보

Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers 24, 504

출간연도

2011