Low Temperature Plasma Research
Ion source
IHC(열음극) Penning 이온원 연구
반도체 Ion implantation 공정 등에 이용되는 IHC 페닝 이온원 연구
정전 탐침을 이용한 플라즈마 wave의 분석
Choi, Jinyoung, et al. “Rotating spoke frequency in E× B penning source with two-ion-species plasma.” Plasma Sources Science and Technology 32.1 (2023): 01LT01.
Ion source
냉음극 소형 Penning 이온원 연구
SEM 전처리 Ion Polisher에 이용되는 소형 이온건의 성능 개선 연구
이온빔 경로해석 코드 개발 (IGUN과 비교검증 완료)
Lee, Minkeun, et al. “Influence of Electrode Structure on Ion Beam Extraction in Cold-Cathode Ion Source.” IEEE Transactions on Plasma Science (2023).
Weakly-magnetized plasma
자화 유도 결합 플라즈마(ICP) 특성 연구
자기장을 이용한 유도 결합 플라즈마의 균일도 제어 연구
정전 탐침을 이용한 플라즈마 파라미터 진단
Weakly-magnetized plasma
용량 결합 플라즈마(CCP) 특성 연구
자기장을 이용한 용량 결합 플라즈마의 균일도 제어 연구
Particle-In-Cell (PIC) 시뮬레이션을 통한 자기장 영향 평가
Negative ion research
NBI용 다중 펄스 수소 음이온원
핵융합 장치의 NBI(Neutral beam injection)을 위한 고효율 수소 음이온 생성 연구
After-glow plasma를 이용한 수소 음이온 생성
정전 탐침 및 레이저 기반 ICP RF 펄스 플라즈마의 특성 파악
Breakdown research
Narrow gap에서 발생하는 방전 현상 연구
Gas distribution plate / Showerhead 모사 장치를 통해 Gas hole 방전 현상 연구
Biased plate와 Gas hole을 이용한 Background plasma가 있는 상황에서 Narrow gap breakdown 실험 및 PIC 시뮬레이션
Son, Sung Hyun, et al. “Unintended gas breakdowns in narrow gaps of advanced plasma sources for semiconductor fabrication industry.” Applied Physics Letters 123.23 (2023).
Weakly-magnetized plasma
디스플레이용 DC magnetron 장치 연구
대형 디스플레이 제조에 사용되는 PVD (DC magnetron) 장비 연구
정전탐침 기반 플라즈마 구배 측정
방전 조건에 따른 플라즈마 균일도 및 불안정성에 대한 연구
Plasma diagnostics
플라즈마 광진단 기술 개발 (CT-OES)
비침투식 진단인 CT-OES 진단 기술 개발
고속 플라즈마 진단 및 진단을 통한 최적 운전 조건 연구
Weakly-magnetized plasma
전하 중성화 장치 (PFG) 연구
반도체 공정 등에 활용되는 이온빔 전하 중성화를 위한 PFG 개발 연구
Lee, Minkeun, et al. “Generation of low-energy abundant electron energy probability functions using a magnetized plasma source.” Plasma Sources Science and Technology (2024).
DBD plasma research
DBD 플라즈마 방전 특성 연구
DBD 플라즈마 방전을 이용한 유해가스(톨루엔) 분해 실험
전기적 진단 & 광학적 진단으로 플라즈마 방전 특성 연구
